熱氧化厚膜以?xún)?yōu)越的表面潔凈度與安定的質(zhì)量獲得全世界最高的市占率。
熱氧化厚膜以?xún)?yōu)越的表面潔凈度與安定的質(zhì)量獲得全世界最高的市占率。
“氧化層硅片”用途
Undercladding wafer for AWG
在數組波導光柵(AWG)里,被稱(chēng)為Under clad層之最下層的SiO2膜對生產(chǎn)良率有著(zhù)非常大的決定性作用。
§保證規格
項目 | 規格 |
膜厚 | 20um±5%(最大膜厚度) |
面內均一性 | ±0.5% |
面間均一性 | ±0.5% |
折射率(@1550nm) | 1.4458±0.0001 |
§標準品一覽
尺寸 | 晶圓厚度 | 熱氧化膜厚度 |
4inch | 525um 1mm | 15um、20um |
6inch | 625um 675um 1mm | 15um、20um |
8inch | 725um | 15um、20um |
12inch | 775um | 15um |
其他晶圓尺寸以及膜厚依顧客需求定制(厚度范圍 :0.1-30μm)
§折射率面內分布表面粗度數據
§無(wú)塵室
“氧化層硅片”用途
Undercladding wafer for AWG
在數組波導光柵(AWG)里,被稱(chēng)為Under clad層之最下層的SiO2膜對生產(chǎn)良率有著(zhù)非常大的決定性作用。
§保證規格
項目 | 規格 |
膜厚 | 20um±5%(最大膜厚度) |
面內均一性 | ±0.5% |
面間均一性 | ±0.5% |
折射率(@1550nm) | 1.4458±0.0001 |
§標準品一覽
尺寸 | 晶圓厚度 | 熱氧化膜厚度 |
4inch | 525um 1mm | 15um、20um |
6inch | 625um 675um 1mm | 15um、20um |
8inch | 725um | 15um、20um |
12inch | 775um | 15um |
其他晶圓尺寸以及膜厚依顧客需求定制(厚度范圍 :0.1-30μm)
§折射率面內分布表面粗度數據
§無(wú)塵室